1. 招标条件

项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购深硅刻蚀机1套、湿法厚膜沉积设备1套。

资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。

项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。

2. 招标内容：

招标项目名称：甬江实验室采购深硅刻蚀机和湿法厚膜沉积设备项目

项目实施地点：中国浙江

招标产品列表（主要设备）：

序号	货物名称	数量	简要技术规格	备注
1	深硅刻蚀机	1套	真空系统：腔室极限真空≤0.1mTorr，腔室漏气率≤2mTorr/min，控压范围至少包括5mTorr-500mTorr，控压精度≤±0.1mTorr。	/
2	湿法厚膜沉积设备	1套	预处理模块：配置预润湿功能，电镀前对晶圆表面及TSV深孔等进行有效润湿并去除晶圆表面颗粒等污染物，真空度≤40torr，漏率＜40torr/min。	/

3. 投标人资格要求

3.1特定资格条件：

3.1.1投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书。

3.2本项目不接受联合体投标。

3.3未领购招标文件不可以参加投标。

4. 招标文件的获取

招标文件领购开始时间：2024年4月22日

招标文件领购结束时间：2024年4月28日

5. 投标文件的递交

5.1投标截止时间（开标时间）：2024年5月14日9时00分（北京时间）

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